(1) 系统的检查光路,重新描迹。
(2) 光强值下降一般是光路的原因,先检查透镜是不是脏了,或是由于真空室的真空度不好,又了污染。
(3) 机器需要稳定一段时间,必要时候需要调折射镜,找谱线。
(4) 请检查一下快门,看是否在曝光时没有完全打开。
(1) 系统的检查光路,重新描迹。
(2) 光强值下降一般是光路的原因,先检查透镜是不是脏了,或是由于真空室的真空度不好,又了污染。
(3) 机器需要稳定一段时间,必要时候需要调折射镜,找谱线。
(4) 请检查一下快门,看是否在曝光时没有完全打开。
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