1) 普通氩气纯度一般不会高于四个9，氩气的的主要功能是对钨电极保护作用，一般光谱激发时由于瞬间电压高、电流大，激发温度都很高，如果氩气纯度不够，对钨电极就会损伤，而且一些高溶点的物质如硅等就激发不充分，在金属表面就会有很多白点，造成检测数据不准。
(2) 普氩还是不要用，几个月后就会激发不了样子了，当然，如果氩气净化器是新的，还能多撑一段时间，不过普氩里杂质较多，对光路尤其是透镜的损坏较大，强烈推荐不用普氩。
(3) 氩气不纯，影响最大的是透镜，导致透镜污染，影响分析谱线；再者激发时声音表现无力，激发点不充分燃烧，直接影响分析数据，所得数据偏离实际值，不准确。
(4) 高纯氩作为火花室保护气的主体，其纯度高才会形成需要的“聚能放电”否则就是所谓的“扩散放电”引起不良的激发。样品的组织结构越复杂，对氩气的纯度要求就越严格。
(5) 光谱仪使用的氩气纯度要求≥99.996%,其纯度不够的氩气将导致以下后果：
1、校正系数超出要求范围，标准化系数偏高。
2、激发光源不激发及跳闸。
3、激发时扩散放电，激发点呈白色（白点），强度降低，样品表面无侵蚀，分析数据不准确。
4、分析数据不稳定，特别是分析波长较低的元素如：C、P、S等，还有一些高合金铸件、铸铝、铸铁、纯金属等。